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快速退火爐的硬件更換（huàn）
發布時間：
2023/09/11 20:19
快速退火爐采用先進的微（wēi）電腦控製係統和（hé）PID閉環控溫（wēn），可達到較高的控溫精度和溫度均（jun1）勻性，並可根據用戶工藝（yì）要求配備真空室或多路氣體。快速退火（huǒ）爐采用鹵素紅外線燈作（zuò）為熱源，通過較快的升溫速度將晶圓或材料快速加熱至300°C-1200°C，從而（ér）晶圓或材料的部分缺陷（xiàn），提高產（chǎn）品（pǐn）性能。快速退火爐（lú）（芯片熱處理設備）廣泛應用（yòng）於（yú）IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半（bàn）導體、功率器件等（děng）各種芯片產品的生產，以及接觸的快速合（hé）金化、離（lí）子（zǐ）注入退火、氧化物生長、應力 浮雕在致密化、致密化等工藝中，采用快速熱處理來改善晶（jīng）體結構和光電性能（néng），技術指（zhǐ）標高，工藝複雜，特異性強。快速退火爐硬件更換1、加熱燈（dēng）更換：加熱燈超過使用壽命或不亮需要更換。 加熱燈的使用壽命為，在（zài）高溫下其（qí）使用（yòng）壽命會降低。2、真（zhēn）空泵油更換：使用過程中，請每季度觀察一次真空油表。 當（dāng）油量（liàng）表顯示油量小於1/3時，請將真（zhēn）空泵（bèng）潤（rùn）滑油加到（dào）油量表的一半以上。3、熱電偶更換：測（cè）溫異常或損壞時需要更（gèng）換熱電偶（ǒu）。 熱電偶的正常使用壽命為（wéi）3個月，其使用壽命因環境因素而縮短。4、更換O型圈：O型圈表麵有明（míng）顯損壞或不能密封時，需要更換O型圈。 其使用壽命受外（wài）力和（hé）溫度因素（sù）的影響。
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