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快速退火爐的（de）硬件更換
發布時間：
2023/09/04 20:15
快速退火爐采用先進的微電腦控製係統和PID閉環控溫，可（kě）達到較高的控（kòng）溫精度（dù）和溫度均勻性，並（bìng）可根據用戶工藝要求配備真空室或多路氣體。快速退火爐采（cǎi）用鹵素（sù）紅外線燈作為熱源，通過較快（kuài）的升溫速度將晶圓或材料快速加熱至300°C-1200°C，從而晶圓或材料的部分缺陷，提高產品性（xìng）能。快速退火爐（芯片熱處理設備）廣泛應用於IC晶圓、LED晶（jīng）圓、MEMS、化合（hé）物半導體、功率器件等（děng）各種芯片產（chǎn）品的生產，以及接觸的快速合金化、離子注入退火、氧化物（wù）生長、應力 浮雕在（zài）致密化、致（zhì）密化（huà）等工藝中，采用快速熱處理來改善晶體結構和光電性能，技術指標高，工藝複雜，特（tè）異性強。快速退火爐硬件更換1、加熱燈更換：加熱燈超過使用壽命或不亮需要更換。 加熱燈的使（shǐ）用壽命為，在高溫下其使用壽命會降低。2、真空泵油更換：使用（yòng）過程中，請每（měi）季度觀察一次真空油表。 當油（yóu）量表（biǎo）顯示油量（liàng）小於（yú）1/3時（shí），請將真空泵潤滑油加到油量（liàng）表的一半以上。3、熱電偶更換：測溫異（yì）常或（huò）損壞時需要更換熱電偶。 熱電偶的正常使用（yòng）壽命為3個月，其使用壽命因環境因（yīn）素而縮短。4、更換O型（xíng）圈：O型圈表麵有（yǒu）明顯損壞或不能密封（fēng）時，需要更換O型圈。 其使用壽命受外力和溫度因素的影響。
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