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輥棒式退火爐廠(chǎng)家介紹退火爐的結構

發布時間:

2023/08/24 20:05

  輥棒(bàng)式退火爐廠家介紹退火爐是在半導體器件(jiàn)製造中使用的工藝,其包括加熱多個半(bàn)導體晶片以影響它們的電特性。熱處理是(shì)為不同的效果而設計(jì)的。可以加熱晶片以摻雜劑,將膜轉化為膜或將膜轉化為晶片襯底界麵,壓實沉積膜,改變生長膜的狀態,修複注入損傷,將(jiāng)摻雜劑從(cóng)一(yī)個膜移動或轉移到另一個膜或從膜(mó)轉移到晶片襯底。  退火爐可以整合到其他爐處理步驟中,例如氧化,或者可(kě)以單獨處理。退(tuì)火爐是通過專(zhuān)門設計用於加熱半導體晶(jīng)片的設備來完成的。退火爐是節能周期運行爐,超節能結構,纖維結構,省電60%。  輥棒式退火爐(lú)廠家表示熱(rè)處(chù)理爐分為退火爐(lú),淬火爐,回(huí)火爐,正火爐,回火爐,主要用於大型碳鋼,合金鋼零件的退火;對(duì)表麵淬火部分(fèn)進行回火處理;熱處理工(gōng)藝,如焊接零件的應力退(tuì)火(huǒ)和老化。加熱方式有電加熱、燃(rán)油、燃氣、燃煤、熱風(fēng)循環等。退火爐是一種新型的換(huàn)熱設備。  輥棒式退火爐廠家介紹(shào)退火爐的結構:  退火爐骨(gǔ)架采用各類鋼材焊接而成,外框采用(yòng)槽鋼(gāng)作為主梁,圍板采用冷板,台車采用槽鋼作為(wéi)主梁,底板和前後端板采用(yòng)中板。  退火爐傳動部(bù)分(fèn):小車由前(qián)端的一組驅動(dòng)輪驅動,驅(qū)動(dòng)輪由電(diàn)機和減速(sù)器通過鏈條驅動。爐門的傳動采(cǎi)用蝸輪減速機和電機組合(hé)進行電動升降。  密封:台車與爐體(tǐ)之間的密封采用迷宮(gōng)式結構,台車兩側設有自動封砂刀密封裝置。爐門采用自動(dòng)滾壓和彈簧壓緊機構(gòu)密封。爐(lú)體采用優質耐火磚,保證爐子的密封性。台車耐壓部分用高鋁磚砌(qì)築,下部用保溫磚(zhuān)保溫(wēn)。  退火爐燃燒係統:油爐兩(liǎng)側安裝多個燃燒器,熱流在(zài)爐(lú)內來回循環(huán),保證爐溫均勻。可根據需要選擇(zé)自動型(xíng)和半自動型。  廢氣(qì)預熱裝置:廢氣預(yù)熱裝置安裝在爐子的後上端。爐內(nèi)煙氣通(tōng)過預熱器時(shí),被風機送來的冷風預熱,然後通過管道送到燃燒器助(zhù)燃(rán)。出口處裝有(yǒu)手(shǒu)動碟閥,可以調節爐內壓力。廣泛應用於化工(gōng)、石油(yóu)、食品、冶金、機械、輕工、電(diàn)力、船舶、造紙、采礦(kuàng)、醫藥、集中(zhōng)供熱等工業部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發等工藝過程中。

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