高純氨是電子工業中氮化膜的成膜氣體,已經在半導（dǎo）體,液晶麵板,氮化镓係LED生產中得到廣泛應用;在多晶矽太陽能電池領域的高純氨的應用也在不（bú）斷增加。針對NH3中的水份脫除工藝研究，對於氣態氨在脫水過程（chéng）中（zhōng）出現的各種複雜問題解（jiě）決，確保設備長（zhǎng）期穩定運行，純氨含水量（liàng）小於1PPm以下。 
關（guān）鍵詞：高純氨；脫水；問題解決; 穩定運行; 
氨氣在常溫常壓下為具（jù）有特殊刺激性惡臭的無色有毒氣體，比空氣輕。氨在常溫下穩定，但是在高溫分（fèn）解成（chéng）氫和氮。一般在一個大氣壓下450~500℃時容易分解成氫氮混合氣。在空氣中可燃（rán），但一般難以著火，如果連續接（jiē）觸火源就燃燒，有時也能引起爆炸。氨呈堿性，具有強腐（fǔ）蝕（shí）性。氨氣用途廣泛包括氮肥、銨鹽（yán）硝酸、尿素丙烯酰胺、氫氰酸、無機試劑、藥（yào）品（pǐn）、染料、金屬表麵氮化、製冷劑、半導體用氣體、氧化、氮化膜、化學氣相澱積、標準氣（qì）等。 
目前工業（yè）製取（qǔ）液氨的方式主要是利用氫和氮在（zài）高溫高（gāo）壓時在催化劑的作用下合成得到的。其粗氣中的組成雜質主要含有微量硫、水份、一（yī）氧化碳、氮氣、氧氣、鐵（tiě）雜質及其它機械雜質和油等雜質。液氨中含有硫可通（tōng）過（guò）脫硫裝置脫除，含有的油份可通過活性碳吸附（fù），含有（yǒu）的機械（xiè）雜質可通過精密過濾裝置過濾，氨中含有的雜質氣體可以通過萃取精餾工（gōng）藝解（jiě）決。氨中的水份在氨氣（qì）的雜質中（zhōng）占有的比重較大，在實際應用解決過程中遇到的問題也較多，特別是氨（ān）氣最終的脫水深度及脫水過程中產品氣露點穩定性是整個工藝脫水過（guò）程中克服的（de）難點（diǎn）。隨著電子工業的發展，對NH3純（chún）度要求及雜質含量要求極高。鑒於高純氨氣良好的應用前景，進一步開展NH3純度的技（jì）術研究（jiū），提高產品氣（qì）的純度是十分必要的。